Kurs-Nr. MNT_1701

Hands-on MEMS (Reinraum)

Dozenten: Prof. Dr. Rudolf Buser Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner

Typische Beispiele von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) sind Drucksensoren, Tintenstrahldruckköpfe, Mikrospiegel, Beschleunigungssensoren, Gyroskope, mikrofluidische Bauteile sowie elektronische Komponenten für HF-Anwendungen. MEMS Strukturen haben typischerweise kleinste Abmessungen im Mikrometer-Bereich. MEMS werden mit Hilfe von waferbasierten Prozesstechnologien gefertigt, die ursprünglich für die Mikroelektronik entwickelt wurden. Der Kurs dauert 3 Tage.

  • Entdecken Sie die Welt der Mikrotechnologie
  • Erlernen Sie grundlegende Reinraum-Abläufe
  • Verstehen Sie, wie mikroelektromechanische Systeme (MEMS) entworfen und hergestellt werden
  • Erlangen Sie Hands-On Erfahrung in den grundlegenden Waferprozesstechniken
Dozenten: Prof. Dr. Rudolf Buser Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner
Ort/Gebäude: NTB Buchs Laborgebäude Reinräume
Kosten: 3400.- (exkl. MwSt.)
Anmeldeschluss: n. a.

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Prof. Dr. Rudolf Buser

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Leiter Mikrosysteme

+41 81 755 34 56
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Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner

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