Kurs-Nr. MNT_1702

Angewandte Vakuumtechnik

Dozenten: Prof. Dr. Rudolf Buser Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner

Optimal zum Grundkurs Vakuumtechnik oder auch separat kann der Kurs "Angewandte Vakuumtechnik" besucht werden. Optimale Vorraussetzungen für diesen Kurs sind Grundkentnisse in der Vakuumtechnik in Theorie und Praxis (werden z.B. im Grundkurs vermittelt). Dieser Kurs wird in den Labors direkt bei den Anlagen durchgeführt.

  • Erläuterung Pumpsysteme, Pumpsequenz und Vakuum-Messung
  • Charakterisierung des vakuumtechnischen Zustandes der Anlage
  • Konditionierung einer Prozessanlage
  • Erforderliche Prozessbedingungen
  • Kritische Einflüsse auf den Prozess
  • Demonstration Massenspektrometrie, Gastheorie und Abscheideverfahren (PVD, PECVD)
Dozenten: Prof. Dr. Rudolf Buser Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner
Ort/Gebäude: NTB Buchs Laborgebäude
Kosten: 650.- (exkl. MwSt.)
Anmeldeschluss: n. a.

Kontakt

Prof. Dr. Rudolf Buser

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Leiter Mikrosysteme

+41 81 755 34 56
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Dipl. El. Ing. HTL/NDS Urs Lippuner

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