Partielle Beschichtung von mikrooptischen Linsen

Kleinste mikrooptische Linsen mit einem Durchmesser von 1,7 mm müssen für einen Kunden von Optics Balzers AG mit einer Schwarzchromschicht beschichtet werden. Dabei wird gefordert, dass eine konkave, nach innen gewölbte Fläche, welche in einer Planlinse eingeschliffen ist, nicht mit Schwarzchrom beschichtet werden darf. In dieser Bachelorarbeit wurde eine Lösung gefunden, bei der mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren - Physical Vapour Deposition) die Substrate nur lokal, aber ohne störende partielle Abschattungen beschichtet werden können. Die entwickelte Technik kann nicht nur bei Mikrolinsen, sondern bei diversen Formen angewendet werden. Diese innovative Idee inklusive zugehörigem Herstellungsverfahren sind Eigentum der Optics Balzers AG und unterliegen der Geheimhaltung.

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Datum 08.09.2019
Studiengang Mikrotechnik
Institut MNT
Typ Bachelorarbeit
Studierende Pierre Einspieler
Dozenten Prof. Dr. Martin Gutsche
Partner Optics Balzers, Balzers