Mikrostrukturierte optische dielektrische Dünnschichten

Im Rahmen dieser Bachelorarbeit wurde gemeinsam mit der Firma SwissOptic ein zur Herstellung mikrostrukturierter dielektrischer Dünnschichtfilter geeigneter Lithografieprozess erarbeitet und optimiert. Dabei wurden auf einem gemeinsamen Substrat drei unterschiedliche Farbfilter strukturiert, wobei die Machbarkeit am Beispiel eines strukturierten RGB-Filters demonstriert wurde. Bei der SwissOptic wird das Strukturieren optischer Beschichtungen mittels Lift-Off-Verfahren durchgeführt, daher wurden die Lösungskonzepte an dieses Verfahren angepasst. Im Rahmen der Bachelorarbeit wurden Versuchsreihen mittels Einschicht- bzw. Mehrschicht-Lift-Off durchgeführt, zudem wurden die Beschichtungsvarianten Bedampfen und Sputtern verglichen. Nach durchgeführter FMEA, Wirtschaftlichkeitsbetrachtung und Analysen der technischen Ergebnisse wurde aufgezeigt, welche Variante die entsprechenden technischen Spezifikationen erreicht und in welchem Kostenrahmen diese zu den anderen Varianten steht. Auf dieser Grundlage kann der Industriepartner selbst entscheiden, welche Variante für seine konkrete Anwendung passend ist.

Weitere Informationen

Datum 08.09.2018
Studiengang Mikrotechnik
Institut MNT
Typ Bachelorarbeit
Studierende Tanja Blöchlinger
Albin Sopi
Dozenten Prof. Dr. Markus Michler
Prof. Dr. Carsten Ziolek
Partner SwissOptic AG, Heerbrugg