Nasschemische Strukturierung

Nasschemie

Wet-Bench
  • Reinigungsbecken: kaltes HNO3, heisses HNO3 100°C, HF
  • Temperiertes KOH-Becken und Umwälzbecken zum anisotropen Ätzen von Silizium
  • Temperierter Aluminium-Etch
  • Nasschemie zur Strukturierung von Au, Cr, Ti, W/Ti, Cu, Al, Ni, ...