Die Infrastruktur im Kompetenzbereich Prozesstechnologie gliedert sich in fünf Unter- bereiche. Neben der Dünnschichttechnologie  sind wir spezialisiert im Bereich der Nass- und Trockenstrukturieung sowie im Bereich der Fotolithografie. Weiters verfügen wir über ein bestens ausgerüstetes Galvanik-Labor.

• Dünnschichttechnologie
• Trockenchemische Strukturierung
• Nasschemische Strukturierung
• Fotolithografie
• Galvanik