Für die Bestimmung der Scherfestigkeit steht ein Schertester zur Verfügung. Auf einem linear geführten Präzisionsschlitten befindet sich ein x-y-Tisch mit wechselbarem Probenhalter. Ein mit einer Kraftmesszelle gekoppelter Meissel wird in definierter Höhe auf einen Bond zugeführt, bis dieser zerstört wird. Die Steuerung der Schlittenbewegung und die Aufnahme der Kraftmessdaten erfolgt mit einer LabView Programmsteuerung. Es stehen Kraftmesszellen für Maximalkräfte von 10000 N und 3000 N zur Verfügung.

Für die Messungen der elektrischen Eigenschaften nach Van der Pauw oder Kelvin steht ein Messplatz zur Verfügung, der mit Nadelprober (Karl Süss), Keithley 2400 SourceMeter und LabView Software ausgestattet ist. Die für die Messung notwendigen  Schichtstrukturen werden im Reinraum des Instituts selbst hergestellt. Der Messplatz ist für Proben bis 150 mm Durchmesser geeignet. Es besteht die Möglichkeit, temperaturabhängige Messungen bis 300°C durchzuführen.

nach oben

Für die Messungen des Schichtwiderstands von dünnen Schichten steht ein Messgerät von AiT Co.,Ltd zur Verfügung. Das CMT-SR2000N erstellt über einen 4 Point Probe Head (Jandel, Type B) Mappings - rund bis 200 mm oder eckig bis 140x140 mm. Der Messbereich geht von 1 mΩ/□ bis 2 MΩ/□, mit einer Messzeit pro Punkt von 3-4 s. Das Gerät ist vollautomatisch und verfügt über verschiedene Datenanalysemöglichkeiten (Statistics, Data Map, Contour Map,..) und ist besonders geeignet zur Messung/Charakterisierung verschiedenster Metallisierungen (Cr, Au, Cu,..) oder TCOs (ITO, ZnO,..).

nach oben