Das hochauflösende Röntgengoniometer, die kleinste Schrittweite in Theta beträgt  0.0001°, besitzt eine horizontale Theta-2Theta Konfiguration. Sein  modularer Aufbau erlaubt  durch den Austausch von Prefixmodulen eine schnelle Anpassung an die jeweilige Aufgabenstellung. Der Einsatzbereich reicht von der Phasenanalyse über Texturuntersuchungen und Eigenspannungs-Messungen bis zur Röntgenreflektometrie. Auch Rocking Curves und Reciprocal Space Maps können erstellt werden. Die motorisierte grosse offene Eulerwiege und spezielle Probenaufnahmen ermöglichen auch die  Untersuchungen an Wafern bis 300 mm Durchmesser.

Die verschiedenen Prefixmodule sind leicht austauschbar, es ist nur eine minimale  Nachjustierung nötig.  Zur Verfügung stehen Röntgenspiegel, 4-Kristall-Bartelsmonochromator, Cross-Slit, Beam Attenuator, Planparallelkollimator, Graphitmonochromator sowie Triple Axis Rocking Curve Modul.