Das Gerät DI3100 der Fa. Veeco ist zusätzlich zum Standard Contact und Tapping Mode, die vorwiegend  topographische Informationen liefern, mit dem PhaseImaging Mode ausgerüstet. Die Aufzeichnung der Phasenänderungen der Cantileveroszillation ermöglicht zusätzliche Informationen z.B. zur chemischen Zusammensetzung an der Probenoberfläche. Mit dem 90 x 90 µm² Scankopf können Höhenprofile vom nm-Bereich bis max. 6 µm vermessen werden. Die motorisierte Probenaufnahme (125 x 100 mm²) ist für Probengrössen bis 150 mm Durchmesser und 12 mm Dicke geeignet.

Das Gerät PLµ 2300 der Fa. Sensofar ist eine Kombination aus Weisslichtinterferometer und Konfokalprofilometer. Die verschiedenen Messmethoden (VSI, PSI oder konfokal) und eine breite Palette von Objektiven (2.5; 5; 10; 20, 50 und 100x) ermöglichen ein sehr weites Einsatzgebiet. Der 3-achsige motorisierte Tisch kann bis 35 mm hohe und bis 170 x 190 mm² grosse Proben aufnehmen und mittels Stitching sind zusamengesetzte Messfelder bis 154 x 154 mm² erreichbar.

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Das Dektak³ST der Fa. Veeco ist ein tastendes Messinstrument. Mit einem Taststift (Stylus), dessen Spitze aus einem Diamantkügelchen von 2.5 µm Durchmesser besteht, wird die Oberfläche entlang einer Linie abgetastet und deren Verlauf aufgezeichnet.  Die Scanlänge kann zwischen 50 µm und 50 mm gewählt werden. Der vertikale Messbereich ist in 3 Stufen gegliedert und liegt zwischen 10nm und 131 µm. Die motorisierte Probenaufnahme ist geeignet für Proben bis 100 mm Durchmesser und 47 mm Dicke.

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Das Perthometer der Fa. Mahr ist ebenfalls ein tastendes Stufen- und Rauheitsmessgerät, es können Stufenhöhen im Bereich von 500 nm bis 1 mm gemessen werden. Die Scanlänge beträgt zwischen 0.5 und 56 mm.

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