Elektronenmikroskopie
REM LEO 1455 VP
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Mit dem Rasterelektronenmikroskop LEO 1455 VP können Untersuchungen im Hochvakuum (HV) oder unter einem variablen Partialdruck (VP) durchgeführt werden, d.h. auch nichtleitende Proben können ohne eine zusätzliche Beschichtung untersucht werden. Die zu erreichenden Vergrösserungen sind jeweils stark probenabhängig und liegen zwischen ca. 25- bis 80000-fach im HV-Mode und 25- bis 5000-fach im VP-Mode. Mit den verschiedenen Detektoren können topographische und chemische Aussagen kombiniert werden. Die grosse Probenkammer (340 x 280 x 300 mm) mit der 5-achsigen motorisierten Probenaufnahme ermöglicht die Untersuchung einer Vielzahl von Proben bis zu einem Maximalgewicht von 500 g.
Detektoren
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Der VPSE- Detektor liefert im VP-Modus ein vergleichbares reelles Sekundärelektronenbild wie der SE-Detektor nach dem Everhardt-Thornley-Prinzip im Hochvakuum. Im VP-Mode kollidieren die Sekundärelektronen mit den Gasmolekülen und neben neuen Elektronen und Ionen entstehen auch Photonen, die im VPSE-Detektor (Quarzglasstab) gesammelt werden. Der 4-Quadranten-Rückstreuelektronendetektor (QBSD) kann im HV und im VP angewendet werden und liefert zusätzlich zum Topographie- auch einen Materialkontrast und damit eine chemische Informationen.
EDX Quantax 400
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Der energiedispersive Röntgendetektor X-Flash 3001 arbeitet nach dem Funktionsprinzip des Silizium-Drift-Detektors (SDD) und ist mit einem vibrationsfreien thermoelektrischen Kühler (Peltier-Element) ausgestattet. Flüssiger Stickstoff als Kühlmittel ist deshalb nicht erforderlich. Der realisierte hohe Impulsdurchsatz ermöglicht eine schnelle Arbeitsweise, auch bei Elementmappings. Ein ultradünnes Strahleneintrittsfenster und eine besondere Konstruktion garantieren gute Transmission selbst für die energiearme Strahlung von Kohlenstoff, Stickstoff und Sauerstoff. Für die Auswertung der Messungen steht die Sofware ESPRIT zur Verfügung.
Beschichtungsanlage
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Die Anlage dient zum Beschichten von nicht leitfähigen Proben, um deren Untersuchung im Hochvakuum möglich zu machen und damit höhere Vergrösserungen und bessere Auflösungen zu erreichen. Als leitfähige Schichten werden dünne gesputterte Au- bzw. Au/Pd-Schichten (für Bildgebung) oder durch Aufdampfen hergestellte Kohlenstoffschichten (für EDX-Analyse) verwendet.
