Infrastruktur

Reinraum-Infrastruktur

MNT-Gelbraum
MNT-Weissraum

Das MNT betreibt 5 Reinräume, die teilweise zur Reinheitsklasse 1000 gehören mit Arbeitsbereichen der Klasse 100, in denen die Prozessanlagen aufgebaut sind. Die Prozesskette ist für Mikrosysteme optimiert, d.h. für mikromechanische Bauteile wie Sensoren und Aktoren (MEMS).

Das Spektrum der Prozesse im Institut umfasst Dünnfilm-Beschichtungen (PVD, CVD, Galvanik, Oxidation), Fotolithografie, Ätztechnik (Nass- und Plasmaprozesse) sowie Aufbau- und Verbindungs- technik (Bonding  Verfahren, Vereinzeln, Die- und Wirebonding).

Analytik-Infrastruktur

Analytik-Labor

Dazu kommt - in Qualität sichernder Funktion - die Analytik mit einem grossen Repertoire an Geräten, Instrumenten und Verfahren zur Überprüfung vieler physikalischer Parameter mit Schwerpunkt auf Oberfläche und Materialzusammensetzung.

  

Drei Spezialitäten des MNT Instituts sind die Kompetenzfelder Photonics, Polymerics und NanoBiotechnologie.

Photonics-Infrastruktur

Photonics-Labor

Im Kompetenzbereich Photonics werden einerseits mikrooptische Systeme (optische MEMS = MOEMS) konzipiert und gebaut, andererseits werden Faser- optiken, integriert optische Systeme und Dünn- schichtoptiken realisiert und charakterisiert. Eine ausgedehnte Messtechnik sowie optische Simulationen gehören ebenfalls zu den Kernkompetenzen der Photonics Gruppe.

Details zu Photonics

Polymerics-Infrastruktur

Polymerics-Labor

Polymerics hält ein ganzes Arsenal an analytischen Methoden und Geräten bereit, um Kunststofffrage- stellungen von der Herstellung bis zur Fehlerauf- klärung zu bearbeiten.

Details zu Polymerics

Nanobiotechnologie-Infrastruktur

In der Nanobiotechnologie liegen die Kompetenzen auf der Wechselwirkung und den Interaktionen, die biologische Moleküle (Proteine, DNA, bis Zellen) mit Oberflächen unterschiedlichster Art eingehen. Einrichtungen zur Mikrostrukturierung für LifeSciences-Anwendungen, Lab-on-Chip sowie Mikrofluidik stehen hier bereit.

Simulation-Infrastruktur

Ebenso betreibt das MNT, auch in Zusammenarbeit mit dem Institut für Computational Engineering, vertiefte Simulationen mechanischer, elektrischer, thermischer, fluiddynamischer und optischer Systeme.