Reinraum-Infrastruktur
- MNT-Gelbraum
- MNT-Weissraum
Das MNT betreibt 5 Reinräume, die teilweise zur Reinheitsklasse 1000 gehören mit Arbeitsbereichen der Klasse 100, in denen die Prozessanlagen aufgebaut sind. Die Prozesskette ist für Mikro- systeme optimiert, d.h. für mikromechanische Bauteile wie Sensoren und Aktoren (MEMS).
Das Spektrum der Prozesse im Institut umfasst Dünnfilm-Beschichtungen (PVD, CVD, Galvanik, Oxidation), Fotolithografie, Ätztechnik (Nass- und Plasmaprozesse) sowie Aufbau- und Verbindungs- technik (Bonding Verfahren, Vereinzeln, Die- und Wirebonding).
- Details zur Prozesstechnologie
- Details zum Packaging
Analytik-Infrastruktur
- Analytics-Lab
Dazu kommt - in Qualität sichernder Funktion - die Analytik mit einem grossen Repertoire an Geräten, Instrumenten und Verfahren zur Überprüfung vieler physikalischer Parameter mit Schwerpunkt auf Oberfläche und Materialzusammensetzung.
- Details zur Analytik
Drei Spezialitäten des MNT Instituts sind die Kompetenzfelder Photonics, Polymerics und NanoBiotechnologie.
Photonics-Infrastruktur
- Photonics-Lab
Im Kompetenzbereich Photonics werden einerseits mikrooptische Systeme (optische MEMS = MOEMS) konzipiert und gebaut, andererseits werden Faser- optiken, integriert optische Systeme und Dünn- schichtoptiken realisiert und charakterisiert. Eine ausgedehnte Messtechnik sowie optische Simulationen gehören ebenfalls zu den Kernkompetenzen der Photonics Gruppe.
Details zu Photonics
Polymerics-Infrastruktur
- Polymerics-Lab
Polymerics hält ein ganzes Arsenal an analytischen Methoden und Geräten bereit, um Kunststofffrage- stellungen von der Herstellung bis zur Fehlerauf- klärung zu bearbeiten.
Details zu Polymerics
Nanobiotechnologie-Infrastruktur
In der Nanobiotechnologie liegen die Kompetenzen auf der Wechselwirkung und den Interaktionen, die biologische Moleküle (Proteine, DNA, bis Zellen) mit Oberflächen unterschiedlichster Art eingehen. Einrichtungen zur Mikrostrukturierung für LifeSciences-Anwendungen, Lab-on-Chip sowie Mikrofluidik stehen hier bereit.
Simulation-Infrastruktur
Ebenso betreibt das MNT, auch in Zusammenarbeit mit dem Institut für Computational Engineering, vertiefte Simulationen mechanischer, elektrischer, thermischer, fluiddynamischer und optischer Systeme.
Details zu Simulation
