Mit dem Prinzip der Fokusvariation lassen sich berührungslos flächenhafte Oberflächenmessungen durchführen. Durch den Einsatz mehrerer Vergrösserungen lassen sich Messbereich und Auflösung optimal der Aufgabenstellung anpassen. Durch die Verfügbarkeit von Dreheinrichtungen, mit denen die Probe auf dem Gerät positioniert werden kann, lassen neben ebenen Proben auch gekrümmte Proben flexibel erfassen.

Mit dem Gerät lassen sich Auflösungen von bis zu 10nm erreichen.