Chromatischer Sensor

Mit diesem Messprinzip können Abstand- und Schichtdickenmessungen mit einem berührungslosen Verfahren schnell und präzise durchgeführt werden. Dabei wird mittels eines chromatischen Lichtsensors durch Fokussieren der verschiedenen Wellenlängen der Abstand zu einer Probe gemessen.  Je nach Anwendung wird dadurch eine Auflösung von bis zu 35 Nanometern erreicht. Die Proben werden mit einem präzis beweglichen Tisch in x- und y-Richtung verfahren. So lassen sich auch komplexe Topografien erfassen.

Die Daten können als Topografie, Profil, Rauheit oder als Schichtdicke im Messbereich von 100x100x1 mm ausgewertet werden.