Oberflächen- und Rauheitsmesstechnik

Rauheitsmesstechnik berührend

Spezifikationen

  • Abtastbereich: 200 mm
  • Auflösung vertikal: 5 nm

Besonderes

  • Für Messungen im akkreditierten Umfang
  • Akkreditierter Bereich: SAS Verzeichnis

 

 

Fokusvariation

Spezifikationen

  • Messbereich 200 mm x 200 mm x 150 mm
  • Auflösung vertikal: 10nm
  • Auflösung horizontal: bis zu 0.4 µm

Ausstattung

  • Vergrösserungen 2.5x ... 100x
  • Dreheinheit

Chromatischer Weisslichtsensor

Spezifikationen

  • Auflösung vertikal: 35 nm
  • Messbereich: 100 mm x 100 mm x 1 mm
  • Akzeptanzwinkel: (90±45)°, abhängig von der Oberfläche

Weisslichtinterferometrie

Spezifikationen

  • Messbereich vertikal: bis 34 mm
  • Messbereich horizontal: bis 154 mm x 154 mm