Oberflächen- und Rauheitsmesstechnik

Rauheitsmesstechnik berührend

Spezifikationen

  • Abtastbereich: 200mm
  • Auflösung vertikal: 5nm

Besonderes

  • Für Messungen im akkreditierten Umfang
  • Akkreditierter Bereich: SAS Verzeichnis

 

 

Fokusvariation

Spezifikationen

  • Messbereich 200mm x 200mm x 150mm
  • Auflösung vertikal: 10nm
  • Auflösung horizontal: bis zu 0.4µm

Ausstattung

  • Vergrösserungen 2.5x ... 100x
  • Dreheinheit

Chromatischer Weisslichtsensor

Spezifikationen

  • Auflösung vertikal: 35nm
  • Messbereich: 100mm x 100mm x 1mm
  • Akzeptanzwinkel: (90±45)°, abhängig von der Oberfläche

Weisslichtinterferometrie

Spezifikationen

  • Messbereich vertikal: bis 34mm
  • Messbereich horizontal: bis 154mm x 154mm