Mikrosysteme (MEMS/MEOMS)

Kleine Systeme mit grosser Wirkung

Die Mikrosystemtechnik ist eine Querschnittsdisziplin, der sich das Institut für Mikro- und Nanotechnologie verschrieben hat. Sie umfasst die Themenfelder Prozesstechnologie (Reinraumtechnologie), Aufbau- und Verbindungstechnik (Packaging), Charakterisierung und Schadensanalytik (Analytik), Photonik und Optik (Photonics), Kunstoffe und Klebstoffe (Polymerics), Life Science und Medtech, additive Fertigungsverfahren und Simulation.

Wir entwickeln, prozessieren und charakterisieren für Sie.

Was wir können

Das Institut hat langjährige Erfahrungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik und kann für Sie den Entwurf, die Herstellung und die Charakterisierung von mikrotechnischen Systemen übernehmen. Für folgende Themenfelder bieten wir Lösungen an: