Mikro- und Nanostrukturen

Kleinste Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich werden in verschiedensten Anwendungen wie z.B. in der Sensortechnik eingesetzt. Diese Strukturen werden mittels Photolithographie oder Mikrokontaktdruck in einen Lack übertragen. Anschliessend wird die Lackstruktur mit nasschemischen oder trockenchemischen Ätzen in eine metallische oder dielektrische Schicht (surface micromachining) übertragen. Alternativ können die Strukturen auch in ein Substratmaterial wie z.B. Silizium oder Glas geätzt werden (bulk micromachining).

Was wir können

Die Mikro- und Nanostrukturen sind das Herzstück der Bauteile der Mikrosystemtechnik (MEMS, MOEMS). Wir entwerfen und produzieren die Strukturen für Sie.