Elektronenmikroskopie

Rasterelektronenmikroskopie

Als Folge der fortschreitenden Miniaturisierung von Bauteilen in der Mikroelektronik oder der rasanten Eroberung vieler neuer Anwendungsbereiche durch Nanopartikel wird zur Charakterisierung solcher Produkte der Einsatz des Rasterelektronenmikroskops (REM)notwendig. Das REM ermöglicht Vergrösserungen, die Strukturen im μm- und nm-Massstab sichtbar machen. Die Möglichkeit, wahlweise im Hochvakuum oder unter Partialdruck zu arbeiten, und die Anwendung verschiedener Detektoren erlauben die Untersuchung einer breiten Palette von Materialien. Wir charakterisieren ihre Oberflächen und beurteilen Defekte oder machen den Einfluss veränderter Prozessparameter während der Herstellungsprozesse auf die Oberflächenqualität sichtbar.

Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse

Die Ausstattung des REM mit einem zusätzlichen Detektor zur Bestimmung der emittierten Röntgenfluoreszenzstrahlung ermöglicht es, die chemische Zusammensetzung im μm-Massstab mittelsEnergiedispersiver Röntgenfluoreszenzanalyse (EDX) zu ermitteln. Die Auswahl von definierten Oberflächenbereichen (Spot- oder Objektmodus) erlaubt die Bestimmung der einzelnen Phasen eines Gefüges und liefert damit Informationen zur Homogenität oder zur Defektcharakterisierung. Mittels Linescan-Modus können die Veränderungen der Elementkonzentrationen z. B. an Grenzflächen charakterisiert und mittels Elementmapping die Verteilung der Elemente sichtbar gemacht werden.