Sägen

Sägen ist das bewährte Verfahren in der Mikroelektronik, um Substrate zu vereinzeln. Neben einem hohen Durchsatz und niedriger Sägeblattabnützung ist oft die Qualität des Sägeschnittes von primärem Interesse. Insbesondere gilt es, Ausbrüche entlang den Sägekannten zu vermeiden. Dieser Effekt, das sogenannte Chipping, tritt vor allem bei spröden Materialien mit einer niedrigen Bruchfestigkeit auf, bzw. bei Materialien, die eine geringe plastische Verformung zulassen. Entscheidend für ein optimales Sägeergebnis sind unter anderem: die Wahl des Sägeblattes (Körnung, Konzentration, Sägeblattdicke, Art der Matrix), der Sägeparameter (Drehzahl, Vorschub, Kühlung), sowie die Wahl der Aufnahme (Folie, Wachs, etc.).

In Bild 1 ist die Sägekante eines Siliziumsubstrates gezeigt, wobei das Chipping nahezu vollständig unterdrückt werden konnte, sowohl auf der Oberseite wie auch auf der Unterseite. Bild 2 zeigt einen Sägeschnitt durch einen Waferverbund, bestehend aus einem 1mm dicken Siliziumwafer und einem 0.5mm dicken Glassubstrat.

Regulare Materialen, die wir sägen sind: Silizium, diverse Dünngläser, BF33, Aluminiumkeramik, Metalle, PCB u.v.m.

Bild 1: Sägekante eines 0.5mm dicken Siliziumsubstrates. Hier konnte das Chipping vollständig unterdrückt werden.
Bild 2: Sägeschnitt durch einen Waferverbund bestehend aus einem 1mm dicken Siliziumwafer und einem 0.5mm dicken Glassubstrat. Das Chipping konnte vollständig unterdrückt werden.