Vakuumlötofen VLO 850

Substratgrössen:Rund oder eckig bis Ø150 mm
Temperaturen:20 - 600 °C
Aufheizen:Bis zu 3°C/s, je nach Temperaturbereich
Prozessgase:N2, Formiergas H2-N2 , Ar
Prozesse:Beliebige Temperaturprogramme fahrbar
Hauptanwendung:Vakuumlöten, Tempern, Drive-In