PVD Sputteranlage Radiance von Evatec

Materialien:Dielektrische Schichten für Laserspiegel, Filter, Bandpass, etc.
Sputtermodi:Reaktives Sputtern, DC- und RF-Sputtern, DC gepulst
Beschichtungsoption:RF-Substratbias
Substratgrössenrund bis 200 mm
Substrattemperatur:bis 300 °C
Überwachung:Optisches in-situ Schichtdicken-Monitoring (GSM)
Anlagenkonfiguration:Vakuumschleuse (Loadlock) für Kassetten mit bis zu 16 Wafern