PVD Sputtertool BAS 450

DC-Magnetron Sputtern:Leitfähige Materialien
RF-Sputtern:Elektrisch nicht oder schlecht leitfähige Materialien
Materialien:Al, Ti, Cr, Au, W/Ti, Cu, TaSi, Si, Ag, Al/Si, andere Materialien auf Anfrage
Substratgrössen:100 mm (rund), max. 120x250 mm
9 Stück/Run
Prozessgase:Ar, N2, O2 (reaktives Sputtern)