PVD Bedampfungstool BAK 550

Bedampfen:Verschiedenste Materialien mittels Elektrohnenstrahl oder aus Schiffchen
Vorbereitung:Substrateaktivierung / Vorreinigung durch O2-Glimmen möglich
Materialien:Cu, Au, Ag, Ti, Cr, Ta, Pt, Al, Ni, SiO2, Al2O3, Si, Ta, Rh
Substratgrössen:Substrate flexibel auf Kalotte montierbar, 100 mm Wafer max. 15 Stück/Run, 150 mm Wafer max. 4 Stück/Run